[实用新型]一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达有效
申请号: | 202122471541.0 | 申请日: | 2021-10-12 |
公开(公告)号: | CN216646798U | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 李闯;向小健;胡恒谦;柏帆;郑泉水 | 申请(专利权)人: | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
主分类号: | G01S7/481 | 分类号: | G01S7/481 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王雨 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达,包括基底、驱动组件及滑动基座;所述驱动组件设置于所述基底的第一表面下方,所述驱动组件与所述滑动基座绝缘设置;所述驱动组件包括多列交替间隔设置的驱动单元;所述滑动基座能够被所述驱动组件所驱动并滑动至所述驱动组件的不同位置。本实用新型通过交错的驱动单元逐级驱使所述滑动基座在驱动组件上滑动,实现了所述滑动基座的多级稳定驱动,同时,由于本实用新型提供的方案中不包括机械传动装置,所述滑动基座的使用寿命长,可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 驱动 装置 mems 扫描 激光雷达 | ||
【主权项】:
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