[实用新型]一种多工位晶圆夹取传片装置有效
| 申请号： | 202122489149.9 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN217971492U | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 史志贺;张勇;陆鸣 | 申请（专利权）人： | 江苏雷博微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;H01L21/677 |
| 代理公司： | 江阴市权益专利代理事务所(普通合伙) 32443 | 代理人： | 陈强 |
| 地址： | 214437 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种多工位晶圆夹取传片装置，包含有：传片主轴，传片主轴由驱动机构驱动旋转；夹取机构，多个夹取机构均匀围绕安装于传片主轴上，且每个夹取机构上均安装有至少一组夹具。本实用新型一种多工位晶圆夹取传片装置，有助于提高工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位晶圆夹取传片 装置 | ||
【主权项】：
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