[实用新型]微机电结构及其MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202122493606.1 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN215935099U | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 荣根兰;孙恺;孟燕子;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 刘静 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种微机电结构及其MEMS麦克风，微机电结构包括背极板；振膜，位于所述背极板的一侧，与所述背极板构成可变电容，所述振膜包括多个第一通孔以及分别与所述第一通孔对应的泄气结构，其中，所述振膜还包括一个或多个贯穿所述振膜的第二通孔。本申请提供的微机电结构及其微机电结构，通过在振膜中心区域形成第二通孔，以及在第二通孔的四周形成第一通孔和泄气结构，这样在ESD放电过程中，大气压可以通过第二通孔快速泄气，而四周的第一通孔和泄气结构也能够帮助泄气，从而达到提升ESD可靠性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 及其 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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