[实用新型]阴极背板检漏装置有效
| 申请号： | 202122518236.2 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN216012628U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 王龙;朱飞鹏;王兆甫;陈晨 | 申请（专利权）人： | 江苏日久光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01M3/26 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 潘时伟 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种阴极背板检漏装置，包括：壳体、第一接头和第二接头。壳体围合形成具有顶部开口的腔体，壳体的顶部设有用于支承阴极背板的支承板，支承板环绕顶部开口，并且支承板上设有环绕顶部开口的密封条，以使得阴极背板支承于支承板上时能够封闭顶部开口。第一接头设于壳体的侧壁上并与腔体连通。第二接头设于壳体的侧壁上并与腔体连通。本实用新型提供的阴极背板检漏装置，可以在阴极背板装在磁控溅射设备上之前，对阴极背板进行检漏，从而可以避免阴极背板在磁控溅射设备上的频繁拆装，能够省时省力，提高生产效率；而且该检漏装置能够适用于多种检漏方法，使用方便、操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 背板 检漏 装置 | ||
【主权项】：
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