[实用新型]用于清洗晶圆的排列式兆声清洗装置有效
| 申请号： | 202122519276.9 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN216262401U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐枭宇;杨渊思 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 邵志 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于清洗晶圆的排列式兆声清洗装置，包括：清洗槽；第一主动轴和第二主动轴，平行设于清洗槽内，且在驱动单元的驱动下可绕其自身中心线周向旋转；第一主动轴上沿长度方向设有至少两个第一卡槽，第二主动轴上沿长度方向设有至少两个第二卡槽，该第二卡槽与第一卡槽对应设置；多片晶圆分别通过第一卡槽和第二卡槽的配合实现放置，且第一主动轴和第二主动轴被构造为分别位于晶圆的中轴线的两侧；第一主动轴和第二主动轴沿相同方向转动，可摩擦驱动多片晶圆同时转动，以实现清洗。本实用新型清洗槽中可以放置多片晶圆进行同时清洗，在确保同等清洗效率的前提下，最大程度减小了清洗槽的占地面积，确保晶圆清洗的效果一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 排列 式兆声 装置 | ||
【主权项】：
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