[实用新型]一种化学机械研磨垫研磨器

摘要

本实用新型涉及研磨设备的技术领域，特别是涉及一种化学机械研磨垫研磨器，其便于快速调节研磨垫的打磨位置，提高装置使用便捷性；包括底座、固定架、第一电机、齿轮、齿条、连接板、移动板、固定组件、第一T型滑块、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、丝杠轴、滑杆、第二T型滑块、第三电机和研磨盘，第一电机通过固定架固定在底座的顶端左侧，第一电机的输出端与齿轮连接，齿轮与齿条啮合传动连接，并且齿条固定在连接板的底端，齿条的前后两端设置有限位块，并且连接板固定在移动板的左端中部，研磨垫通过固定组件固定在移动板的右端，移动板固定在第一T型滑块的顶端中部，并且第一T型滑块与底座的顶端左侧滑动卡装。