[实用新型]一种喷淋装置

摘要

本实用新型提供了一种喷淋装置，包括：底座，所述底座的上表面设有第一开口；运输机构设于第一开口用于运输硅片；盖板设于底座的上方，与底座的上表面具有间距，盖板的两侧边朝向运输机构延伸形成第二开口，盖板的上表面开设有若干连接孔喷淋单元，设于盖板内，喷淋单元内设有喷淋板，喷淋板设有若干第一排气孔，喷淋板将喷淋单元分隔成第一腔室和第二腔室，第一腔室与若干连接孔导通，第二腔室对应运输机构开设有第二排气孔。本实用新型公开的喷淋装置将反应气体从连接孔输入，依次经过第一腔室和第二腔室，保证了反应气体均匀稳定的排出与运输机构上的硅片进行氧化反应，使硅片氧化较充分，提高了硅片氧化的均匀性，降低了生产成本。