[实用新型]一种半导体芯片烘干装置有效

专利信息
申请号: 202122539143.8 申请日: 2021-10-21
公开(公告)号: CN216620485U 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 白俊春 申请(专利权)人: 江苏晶曌半导体有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B21/04;F26B25/00;F26B25/12
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 李延峰
地址: 221000 江苏省徐州市邳州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种半导体芯片烘干装置,包括箱体、风机、挡板、烘干板机构,箱体顶部为倒漏斗状,箱体前部设有箱门,箱体外壁底部固定有风机,风机上的进气管和排气管分别延伸至箱体的底部和顶部,箱体两侧内壁上均自上而下等距设置有滚轮槽,烘干板机构的两侧分别设置于两个相对应的滚轮槽内;烘干板机构由烘干板、滚轮组成,烘干板上等距开设有放置槽,放置槽之间开设有第二通孔,烘干板底部的四个边角处均轴接有滚轮,滚轮沿滚轮槽推入箱体内;挡板设置于烘干板机构的正上方的箱体内,且挡板上开设有第一通孔。
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 烘干 装置
【主权项】:
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