[实用新型]一种半导体芯片烘干装置有效
申请号: | 202122539143.8 | 申请日: | 2021-10-21 |
公开(公告)号: | CN216620485U | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 白俊春 | 申请(专利权)人: | 江苏晶曌半导体有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B21/04;F26B25/00;F26B25/12 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 李延峰 |
地址: | 221000 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体芯片烘干装置,包括箱体、风机、挡板、烘干板机构,箱体顶部为倒漏斗状,箱体前部设有箱门,箱体外壁底部固定有风机,风机上的进气管和排气管分别延伸至箱体的底部和顶部,箱体两侧内壁上均自上而下等距设置有滚轮槽,烘干板机构的两侧分别设置于两个相对应的滚轮槽内;烘干板机构由烘干板、滚轮组成,烘干板上等距开设有放置槽,放置槽之间开设有第二通孔,烘干板底部的四个边角处均轴接有滚轮,滚轮沿滚轮槽推入箱体内;挡板设置于烘干板机构的正上方的箱体内,且挡板上开设有第一通孔。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 烘干 装置 | ||
【主权项】:
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