[实用新型]一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构有效
申请号: | 202122579077.7 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN216174413U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 季林;卞则军 | 申请(专利权)人: | 苏州博康智能科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/36 | 分类号: | B07C5/36;B65G49/07 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215134 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构,包括运动部和吸头部,所述运动部包括X轴轨道和滑移连接在X轴轨道上的Y轴轨道,所述吸头部滑移连接在Y轴轨道上,所述吸头部包括直接连接在Y轴轨道上的安装座和设置在安装座内的IC吸头组,所述IC吸头组包括若干个IC吸头和对应每个IC吸头配置的微调组件,本实用新型的优点在于可以实现该IC吸头拾放机构在X轴和Y轴上的大跨度转移动作以及应对不同托盘中的晶圆摆放布局及设备其它工位晶圆的定位布局,提高了该IC吸头拾放机构的工况适配性。 | ||
搜索关键词: | 一种 分拣 ic 吸头 机构 | ||
【主权项】:
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