[实用新型]一种多谱近红外薄膜厚度测量仪

摘要

本实用新型涉及薄膜厚度测量领域，特别地，涉及一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，包括底座与光谱座，所述底座与所述光谱座之间设有支架，所述支架两端分别与二者固定连接，所述底座内部设有光谱接收器以及用于记录与计算所述光谱接收器接收数据的处理器，所述光谱座内部开设有光谱腔，所述光谱座上开设有朝向所述光谱接收器的发射孔，所述发射孔使外界与所述光谱腔相连通，所述光谱腔内部设有用于发出光谱的卤素灯，所述卤素灯正对所述发射孔，所述光谱腔内部设有偏光盘；本实用新型目的是克服现有技术的不足而提供一种多谱近红外薄膜厚度测量仪，实现切换不同波长的光谱对薄膜厚度进行测量的效果。