[实用新型]一种晶圆棒外壁打磨装置有效
| 申请号： | 202122590045.7 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN216179005U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 周汉知;李晶 | 申请（专利权）人： | 四川绿然科技集团有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B5/04 | 分类号： | B24B5/04;B24B5/50;B24B41/06;B24B41/04;B24B47/12;B24B47/04 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 阮涛 |
| 地址： | 629000 四川省遂*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种晶圆棒外壁打磨装置，包括打磨机构，打磨机构的两端设有一对夹持机构，打磨机构用于晶圆棒外壁的打磨操作，夹持机构用于晶圆棒两端的夹持，本实用新型在进行晶圆加工时，方便对晶圆棒的外壁进行打磨，在打磨时能够确保晶圆棒的圆度，同时还能有效地提高晶圆棒的打磨效率，同时在打磨时能地晶圆棒的两端进行稳定的夹持，从而方便进行晶圆棒的打磨操作，具有较强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆棒 外壁 打磨 装置 | ||
【主权项】：
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