[实用新型]一种双面精磨装置

摘要

一种双面精磨装置，包括底板，底板的两端均设有内推机构，内推机构均设有精磨机构，内推机构用于调节精磨机构之间的间距，以使精磨机构对晶圆盘的端面进行精磨，内推机构包括安装于底板端部的内推底板，内推底板上壁两端均安装有内推轴承座，位于外侧的内推轴承座安装有内推电机，内推电机的输出轴连接有内推丝杆，内推丝杆设有内推座，内推座设有一对内推板，内推板均穿于位于内侧的内推轴承座，内推板的内侧端设有内推端板。本实用新型在进行晶圆盘加工时，方便同时对晶圆盘的两端进行精磨操作，提高了晶圆盘打磨的效率，同时方便进行打磨盘的更换，从而方便对晶圆盘实施不同程度的打磨操作，具有较强的实用性。