[实用新型]一种真空离子镀膜靶材用冷水背板

摘要

本实用新型公开了一种真空离子镀膜靶材用冷水背板，涉及镀膜靶材领域，为解决现有技术中的真空离子镀膜靶材固定背板无法适应不同的镀膜靶材，不方便安装，影响工作效率的问题。所述冷水背板主体的一侧设置有连接板，所述连接板与冷水背板主体之间设置有缺口，所述冷水背板主体的一侧设置有滑动冷却板，所述滑动冷却板的一端延伸至冷水背板主体内部与冷水背板主体滑动连接，所述冷水背板主体的后端安装有冷却水箱，所述冷却水箱的内部中间安装有电动马达，所述电动马达的一端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端穿过冷水背板主体延伸至滑动冷却板内部与滑动冷却板螺纹连接，所述冷水背板主体的外部两侧均设置有滑槽，所述滑槽的外部安装有弹簧按钮。