[实用新型]一种用于晶圆卡盘的水冷盘有效
| 申请号： | 202122617785.5 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN216361459U | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 姜保彧;王超星 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/02 | 分类号： | F25D1/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京头头知识产权代理有限公司 11729 | 代理人： | 白芳仿;刘锋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型一种用于晶圆卡盘的水冷盘，包括底板，底板上一体焊接中空的盖板，所述底板一侧边缘处固设有弧形挡板，所述弧形挡板径向内侧均布固设有若干个相互平行且长短不一的焊板一，所述盖板另一侧内壁均布固设有若干个与焊板一平行且长短不一的焊板二，所述焊板二与焊板一交替穿插布置且其端部与所述弧形挡板之间存在间隔，所述焊板一、焊板二在所述水冷盘内部分隔出若干个直线型的供冷却水流通的冷却流道，所述冷却水对位于所述水冷盘上的晶圆卡盘进行冷却。其目的在于提供一种晶圆卡盘能够得到均匀冷却且有利于提高冷却效率的用于晶圆卡盘的水冷盘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 卡盘 水冷 | ||
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