[实用新型]一种用于集成电路制造的新型半导体封装设备有效
申请号: | 202122628775.1 | 申请日: | 2021-10-29 |
公开(公告)号: | CN216528831U | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 陈海泉;林永强 | 申请(专利权)人: | 联测优特半导体(东莞)有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙) 44596 | 代理人: | 陈思远 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于集成电路制造的新型半导体封装设备,包括底座和封装箱,底座顶端的两侧均固定连接有立杆,两个立杆之间固定连接有顶板,顶板的中部固定安装有液压缸,液压缸的输出端固定连接有正对底座的防尘顶盖,防尘顶盖的底端固定安装有粘晶组件,底座顶端的中部固定连接有位于两个立杆之间的封装箱,封装箱内部的两侧均螺纹连接有螺纹杆,封装箱的内部滑动设置有承载台,本实用新型一种用于集成电路制造的新型半导体封装设备,通过螺纹杆、从动齿轮、液压缸、电机、转动杆和主动齿轮的相互配合,方便对承载台的高度进行调整,从而使得方便将半导体芯片放置在承载台表面,进料出料方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 集成电路 制造 新型 半导体 封装 设备 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造