[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 202122637948.6 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN216107167U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘政;于书洋;张亚飞 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 汪莉萍 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及OLED制造技术领域，公开了一种蒸镀装置。蒸镀装置包括：坩埚，包括埚体和衔口，衔口沿周向外延于埚体的开口处；蒸发舟，包括加热环和两个电极，两个电极间隔设置且均连接于加热环的外壁，埚体穿设于加热环内，且埚体的底部伸出加热环，衔口搭接在加热环上。本实用新型实现埚体的开口处温度较高，与埚体底部之间具有温差，降低了发生堵口问题的可能性，保证了蒸镀的效率以及质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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