[实用新型]一种间距可调节的拾取机构有效
| 申请号： | 202122658054.5 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN216818311U | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 周少峰;王焕龙;韩禄丰;张学东;邓天桥;毕爱荣 | 申请（专利权）人： | 上海梓一测控技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 马正红 |
| 地址： | 201612 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种间距可调节的拾取机构，本实用新型包括第一升降丝杆，拾取机构通过第一导向轴和第二导向轴将四组拾取组件进行串联连接，拾取机构上设置有第一调节间距步进电机、第二调节间距步进电机和第三调节间距步进电机，并对第一升降丝杆驱动从而调节弹性吸嘴的间距，通过第一位移传感器间距反馈、第二位移传感器间距反馈和第三位移传感器间距反馈分别反馈对应的拾取组件间距尺寸，拾取机构的升降功能由升降伺服电机驱动第一升降丝杆升降，并通过直线轴承导向，本实用新型针对拾取采用真空吸附，在吸附时需要吸嘴能上下浮动，避免吸嘴顶到元件而损坏元件，在转移过程中需要能精确控制升降和旋转的精度，吸嘴可以360°持续旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间距 调节 拾取 机构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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