[实用新型]铝钛合金声波装置有效
申请号: | 202122667921.1 | 申请日: | 2021-11-03 |
公开(公告)号: | CN216873171U | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 覃超;郑楠 | 申请(专利权)人: | 深圳市中金岭南鑫越新材料有限公司 |
主分类号: | H03H9/13 | 分类号: | H03H9/13;H03H9/145 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪山区坑*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 铝钛合金声波装置,包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜;第一电极膜布置在压电基板的顶表面上,并且限定包括IDT电极的电极;第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分;第二电极膜包括布线电极和焊盘电极,第二电极膜还包括分层金属膜,分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜;金属膜为铝钛合金,第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面;本实用新型能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移,使得布线电极不太可能断裂或短路。 | ||
搜索关键词: | 钛合金 声波 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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