[实用新型]一种溅射旋转靶材矫直装置

摘要

本实用新型公开了一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板，所述基板的上端面通过滑动板配合滑槽滑动连接有L形板，所述L形板的后端面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿L形板的前端面固定连接有转盘，所述转盘的前端面对称固定连接有安装板，所述螺纹套的上端面固定连接有V形板，所述基板的上端面安装有穿直机构，所述基板的上端面固定连接有立板，所述立板的下端面通过伸缩气缸固定连接有压板，本实用新型涉及旋转靶材矫直装置技术领域。该溅射旋转靶材矫直装置，解决了现有的溅射旋转靶材矫直装置不便对不同大小的旋转靶材进行夹持矫直，容易在矫直出现偏移掉落，以及矫直效果不佳的问题。