[实用新型]一种半导体生产用的便携式气体分析仪

摘要

本实用新型公开了半导体技术领域的一种半导体生产用的便携式气体分析仪，包括工作台和仪器板，工作台上端面开设有滑槽，滑槽内滑动连接有移动块，移动块上端面固定连接有连接板，连接板上端面开设有插槽，插槽外侧开设有第一开口槽，第一开口槽外侧开设有第二开口槽，第二开口槽内端面固定连接有第二连接弹簧，第二连接弹簧内端固定连接有连接柱，连接柱内端面固定连接有抽拉杆，连接板上方设置有仪器板，本实用新型通过设置了连接板、插槽、第一开口槽、第二开口槽、第二连接弹簧、连接柱、抽拉杆、仪器板、下连接块和连接孔可完成对放置气体分析仪的仪器板进行快速拆卸与安装的动作，达到了提高了便捷性的效果。