[实用新型]一种MOCVD设备的尾气处理装置有效
| 申请号： | 202122707794.3 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN216259942U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 赵迎春;熊敏;董旭 | 申请（专利权）人： | 苏州镓港半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D53/78;B01D53/75 |
| 代理公司： | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人： | 徐伟华 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种MOCVD设备的尾气处理装置，包括密封的装置本体、尾气进口管及尾气出口管，装置本体的内腔被分隔成相对独立的缓冲腔和处理腔，装置本体的外部连接有向处理腔内注液的洗液加注控制系统，处理腔包括三个处理室，分别为依次设置的一级处理室、二级处理室及三级处理室，尾气出口管上安装有排气泵，一级处理室与二级处理室相对独立，二级处理室与三级处理室的底部连通，三个处理室内均设置有多层格栅，每个处理室内的多层格栅的孔径由下至上递减，尾气处理装置还包括连通管Ⅰ、连通管Ⅱ及连通管Ⅲ以及安装在装置本体内且能延伸出装置本体外的排液管。该结构简单，能够有效去除尾气中的有害气体，设备故障率低、安全系数高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 设备 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州镓港半导体有限公司，未经苏州镓港半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122707794.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
