[实用新型]一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构

摘要

本实用新型公开一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构，包括升降单元和承载单元，升降单元包括机架和升降动力设备，还包括伸缩单元，伸缩单元包括水平连接板和安装于水平连接板上的伸缩动力设备，升降动力设备连接伸缩单元并带动伸缩单元沿竖直方向往复运动，伸缩动力设备连接承载单元并带动承载单元沿平行于竖立侧板的水平方向往复运动，第一工作状态下，水平安装板位于水平连接板的正下方，第二工作状态下，水平安装板的部分移出水平连接板的下方。本实用新型通过设置伸缩单元，承载单元沿着插片方向可伸缩，从而缩短了石墨舟与承载单元的插片位置之间的距离，从而解决了机械手行程不够的问题。