[实用新型]多回转中心自转镀膜转架有效
| 申请号： | 202122734894.5 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN216192688U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 李飞;李兰仿;李兰民 | 申请（专利权）人： | 遵化市超越钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 河北向往专利代理有限公司 13162 | 代理人： | 徐海涛 |
| 地址： | 064200*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，提出了多回转中心自转镀膜转架，包括用于设置在镀膜室上的回转机构和设置在回转机构上的自主轴，回转机构包括驱动件和公转盘，自主轴设置公转盘上，跟随公转盘转动，回转机构还包括自转动轮和固定轮，自转动轮设置在自主轴上，固定轮设置在镀膜室内，通过固定轮和自转动轮配合，自转动轮带动自主轴自转。通过上述技术方案，解决了现有技术中的回转机构回转中心转动和镀膜不均匀问题。 | ||
| 搜索关键词： | 回转 中心 自转 镀膜 | ||
【主权项】：
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