[实用新型]一种能够对晶圆可靠防护的转运装置

摘要

本实用新型涉及晶圆生产的技术领域，特别是涉及一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其通过设置此设备，可以对晶圆缠绕保护膜，从而防止晶圆在运输途中与抽屉接触而出现磕碰，提高晶圆的转运效果；包括抽屉架、多组抽屉、固定板、转轴、挡板、膜卷、第一螺母、四组转向轴、四组轮架和四组滚轮，抽屉架内部均等设置有多组抽屉槽，多组抽屉分别可滑动安装在多组抽屉槽内部，固定板安装在抽屉架顶端左后侧，转轴可转动安装在固定板前端，第一螺母与转轴螺纹连接，四组转向轴可转动安装在抽屉架底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组轮架分别安装在四组转向轴底端，四组滚轮可转动安装在四组轮架内部。