[实用新型]HJT制绒清洗机超净清洗系统有效
| 申请号： | 202122791831.3 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN217069930U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;李世磊;郑严严;李钊 | 申请（专利权）人： | 昆山晟成光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 周冠宇;姜洪颖 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及HJT制绒清洗机超净清洗系统，包括高分子塑料材质的槽体，槽体槽内部的底部设置有液体匀流分配器，还包括用于槽体槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路、气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器和石英容器红外辐射间接加热器，气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器、石英容器红外辐射间接加热器和液体匀流分配器通过高分子塑料循环管路依次连通，有效保证整个清洗系统在清洗硅片时，没有系统本身的无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片的表面，影响硅片表面洁净度的现象，有效保证清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | hjt 清洗 净清 系统 | ||
【主权项】：
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