[实用新型]硅片搬运系统

摘要

本申请提供一种硅片搬运系统，涉及电池生产领域。硅片搬运系统包括前工序载板、后工序载板、搬运装置及升降台；前工序载板具有多个载板槽，用于承载硅片，后工序载板具有具有贯穿其厚度方向的多个载板孔，载板孔用于承载硅片；搬运装置包括移载机构和安装于移载机构的第一吸持件，第一吸持件用于吸持或释放硅片，移载机构能够驱动第一吸持件在载板槽的上方和载板孔的上方往返运动；升降台上安装有能够穿过载板孔的第二吸持件，升降台能够带动第二吸持件升降，第二吸持件被配置成用于吸持在载板孔的上方的硅片并将硅片置于载板孔。本申请的硅片搬运系统，能够减小硅片划伤或被污染的几率。