[实用新型]一种用于LDI设备的内层对准的标记结构有效
| 申请号： | 202122863072.7 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN216485985U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;符祥震;程珂 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张碧珂 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，属于电路板生产技术领域。根据本实用新型的标记结构包括：DMD(1)，光刻物镜(2)和对准标记模块；其中，DMD(1)和光刻物镜(2)为LDI设备的结构，对准标记模块与LDI设备上的载物台(8)连接；载物台(8)用于承载待曝光PCB板(7)；所述DMD(1)和所述光刻物镜(2)用于通过所述对准标记模块在所述待曝光PCB板(7)的B面曝光出靶标。本实用新型的所述标记结构通过LDI设备机台上的DMD和光刻物镜来曝光靶标，简化了LDI设备机台结构；并且，通过DMD和光学成像来曝光出靶标，既能够生成不同形状的靶标，并且曝光形成的靶标精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ldi 设备 内层 对准 标记 结构 | ||
【主权项】：
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