[实用新型]一种超低真空程序控温的前处理装置有效
| 申请号： | 202122882896.9 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN216525110U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 陈佩丽;陈晓丽;陈凯悦;苏秋成 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州能源研究所 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44;G01N1/42;G05D23/19 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 周友元;莫瑶江 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超低真空程序控温的前处理装置，包括主干系统、压力控制系统和温度控制系统；主干系统包括样品仓模块、管道模块、冷阱模块和回填模块；压力控制系统包括真空规、泵组、泵速调节组件和压力监控组件；温度控制系统包括加热仓、温度控制组件和温度采集记录器。本实用新型采用泵组串联组合，可实现超低真空度，可有效解决超高比表面积材料和超细孔径的材料脱气不彻底的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 程序 处理 装置 | ||
【主权项】：
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