[实用新型]一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置有效
| 申请号： | 202122886955.X | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN216704967U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 刘峰;吴铭钦 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人： | 王云峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座，所述预热座的上方设有预热罩，所述预热罩的顶部设有调节架，所述调节架一侧开设有滑槽，所述滑槽内部设有丝杆，本实用新型通过设有的加热架与红外线加热管的使用，能够对基板上的光阻作热处理，让光阻微硬化，传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，同时配合设有的调节架、丝杆、电机、滑板和拉杆的使用，使其能够改变红外线加热管与基板之间距离，使其加热效果更好；通过设有的连接头、插杆、拉板、限制杆和弹簧的配合使用，使其能够方便加热架和红外线加热管的拆装，使其便于更换或维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 软性 表面 涂布光阻 预热 处理 装置 | ||
【主权项】：
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