[实用新型]一种氯硅烷检测样品的前处理系统有效
申请号: | 202122929768.5 | 申请日: | 2021-11-26 |
公开(公告)号: | CN217033263U | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 安军林;朱芙蓉;陈英春;陈英;曹岩德;魏东亮;邢成莉;姜涛 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氯硅烷检测样品的前处理系统,属于化工检测技术领域,包括低温吸收挥发装置,所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶(12),采样瓶(12)设于冷凝子装置中,采样瓶(12)输入端通入有氯硅烷样品。本实用新型通过冷凝子装置配合采样瓶得到氯硅烷样品的凝液,实现了低沸点、易挥发氯硅烷检测样品的前处理;整个前处理过程完全密封,一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触;另一方面能够保证氯硅烷样品充分冷凝,进而从氯硅烷样品中获取检测样品,以此保证检测样品制备的准确性与可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅烷 检测 样品 处理 系统 | ||
【主权项】:
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