[实用新型]一种真空镀膜机用蒸发装置有效
申请号: | 202122936559.3 | 申请日: | 2021-11-27 |
公开(公告)号: | CN216274344U | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 应世强;应佳根 | 申请(专利权)人: | 南京丙辰表面技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 张丽丽 |
地址: | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空镀膜机用蒸发装置,属于真空镀膜机技术领域,包括安装在支撑台上的蒸发平台,所述蒸发平台侧边通过铰链铰接有多个用于放置蒸发舟的置物架,且所述置物架的底部通过支撑杆与所述支撑台连接,所述蒸发平台由升降气缸控制上下移动,在所述蒸发平台下降时带动所述置物架向着所述蒸发平台倾斜,使所述蒸发舟根据自身重力移动到所述蒸发平台上进行内部基材的蒸发。通过蒸发平台铰接多个置物架可同时摆放多种基材,增加镀膜多样性,在需要对基材蒸发时,只需控制相应蒸发舟移动到蒸发平台上进行蒸发即可满足对应基材的镀膜,而位于置物架上的其他蒸发舟不蒸发,不会干扰镀膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 蒸发 装置 | ||
【主权项】:
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