[实用新型]一种DRIE机台的等离子体约束环用定位锁定结构有效
| 申请号： | 202122945564.0 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN216719868U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 赵干;张德伟;荆泉;陈力钧 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种DRIE机台的等离子体约束环用定位锁定结构，包括螺旋传动组件和升降主体，其中螺旋传动组件包括转动环和丝杆，传动环侧壁开设止动螺孔，止动螺孔内安装有止动螺杆，止动螺杆的顶部至丝杆表面的距离小于传动螺孔的孔壁至丝杆的表面的距离，止动螺杆对丝杆进行止动；本实用新型通过止动螺杆对丝杆的传动环部进行止动，止动螺杆对传动环部起到的阻挡的作用，实现了丝杆的位置固定，该种定位方式定位精度高，且不易出现被损坏而影响定位精度的问题，能实现对等离子体约束环的精密定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 drie 机台 等离子体 约束 定位 锁定 结构 | ||
【主权项】：
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