[实用新型]一种便于抓取晶圆的晶圆容器

摘要

本实用新型提供了一种便于抓取晶圆的晶圆容器，包括：外壳；内壳，设置在所述外壳内，所述内壳包括U型结构的第一支撑板、设置于所述第一支撑板一侧的第二支撑板以及设置于所述第一支撑板另一侧的第三支撑板，所述第一支撑板的内壁间隔设置有多个第一梳齿结构，外侧的两个所述第一梳齿结构分别为第一子梳齿结构和第二子梳齿结构，所述第一子梳齿结构的高度大于其余的所述第一梳齿结构；所述第一支撑板、所述第二支撑板以及所述第三支撑板围成用于收容晶圆的收容空间，所述第一子梳齿结构用于抵接所述晶圆的一端。本实用新型可以避免在抓取晶圆时发生偏离槽位、塌陷以及失衡脱落的现象，从而更好的保护晶圆，降低废品率的产生。