[实用新型]一种高压加热炉和工艺设备有效
| 申请号： | 202122983652.X | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216694457U | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 黄占超 | 申请（专利权）人： | 安泊智汇半导体设备（上海）有限责任公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D11/02;F27D9/00;F27D7/06 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201114 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种高压加热炉和工艺设备，高压加热炉包括：管式的金属腔体，金属腔体中具有空腔，空腔的开口朝向所述金属腔体的底部；加热罩，所述加热罩围绕所述金属腔体的外腔壁设置；门组件，所述门组件包括：位于所述金属腔体底部的支架底托；位于所述支架底托上且与所述支架底托固定连接的晶舟，所述晶舟适于伸入所述空腔中。腔体采用金属材质，高压加热炉可用于真空至高压工艺条件，高压加热炉的适用范围广；高压加热炉的开口朝向金属腔体的底部，且加热罩围绕所述金属腔体的外腔壁设置，不占用金属腔体的空间也不需要金属腔体作为支撑，高压加热炉立式放置，增大了空间利用率，在相同的占地面积下，高压加热炉的产能得到了提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 加热炉 工艺设备 | ||
【主权项】：
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