[实用新型]一种斜交式离化源的镀膜腔有效
| 申请号： | 202123023547.8 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN216378360U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李龙;李飞;李兰民 | 申请（专利权）人： | 遵化市超越钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/52 |
| 代理公司： | 河北向往专利代理有限公司 13162 | 代理人： | 徐海涛 |
| 地址： | 064200*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜机械技术领域，提出了一种斜交式离化源的镀膜腔，包括具有镀膜腔的壳体及设置在壳体上的抽气口，还包括等离子靶源和转动架，等离子靶源有若干个，均设置在壳体上，转动架有若干个，均转动设置在壳体的镀膜腔内，等离子靶源的输出端均向镀膜腔的中心偏移设置，其中，上下端分别为倾斜的离化源，通过上述技术方案，解决了现有技术中靶材溅射无法有效覆盖工件的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 斜交式离化源 镀膜 | ||
【主权项】：
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