[实用新型]一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构

摘要

本实用新型公开一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，涉及半导体设备领域。一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，包括水平移动臂，所述水平移动臂的一侧设置有伸缩臂旋转机构，所述伸缩臂旋转机构的顶部设置有伸缩臂；该实用新型，通过真空吸盘、水平移动臂、伸缩臂、组合喷嘴、伸缩臂旋转机构，真空吸盘吸附圆形或方形基板旋转和精准定位，组合喷嘴安装在伸缩臂上，可沿伸缩臂移动，伸缩臂旋转机构带动伸缩臂在工作范围内旋转，伸缩臂安装在水平移动臂上，伸缩臂可整体在水平方向移动，采用基板旋转，喷嘴固定和基板固定，喷嘴移动的方式进行基本边缘清洗，既可以清洗圆形晶圆，又可以清洗带平边晶圆或者方形基板。