[实用新型]一种用于光刻领域的载板超精密加工装置有效
| 申请号： | 202123066720.2 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN216504032U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 程俢夫;金超 | 申请（专利权）人： | 合肥市修夫精密机电有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/08 | 分类号： | B24B9/08;B24B21/00;B24B21/18;B24B47/22;B24B55/08 |
| 代理公司： | 安徽盛世金成知识产权代理事务所(普通合伙) 34196 | 代理人： | 彭倩 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区潜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其包括底板和打磨机构，所述底板安装在已有超精密加工机床上，所述底板的上端设置有打磨机构；本方案通过电机带动转动轴旋转，转动轴带动打磨带同步旋转运动，从而实现对载板的断口面进行打磨的功能，进而达到去除毛刺的效果，通过设置两组打磨带可实现对载板的两端断口处进行同时打磨的功能，提高了打磨效率，且通过打磨带的循环打磨方式可增强打磨效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 领域 载板超 精密 加工 装置 | ||
【主权项】：
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