[实用新型]一种用于晶圆加工的晶圆清洗机有效
| 申请号： | 202123096965.X | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN216323723U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 高文峰 | 申请（专利权）人： | 上海祎丰环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人： | 郭玉静 |
| 地址： | 201505 上海市金山区亭*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，公开了一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳和位于箱壳顶部的翻盖，所述箱壳的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆，两个所述直杆之间固定连接有晶圆固定件，所述箱壳上设置有与背面所述直杆传动连接的动力件，所述箱壳的内部转动连接有位于晶圆固定件左侧的横管，所述横管的右端连通有短管，所述短管的右侧连通有等距离分布的喷头。该用于晶圆加工的晶圆清洗机，具备清洗效率高等优点，解决了现有技术中，待清洗的晶圆板固定在晶圆清洗机的清洗台上，通过位于清洗台上方的喷水头对清洗台上的晶圆板进行冲洗，清洗范围有限，不能对晶圆板的反面进行清洗，需要反向再次放置晶圆板，使得清洗效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 加工 清洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海祎丰环保科技有限公司，未经上海祎丰环保科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202123096965.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种方便操作的病人转移垫
- 下一篇：一种除湿干燥机用螺旋送料装置
