[实用新型]均匀性高的蚀刻装置有效
| 申请号： | 202123097123.6 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN216873482U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郭达文;许青云;曾龙;郭永昌 | 申请（专利权）人： | 江西红板科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;C23F1/08;C23F1/46 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 范小凤 |
| 地址： | 343100 江西省吉安*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种均匀性高的蚀刻装置，其包括蚀刻槽、喷淋装置、吸液装置及传送装置，所述传送装置设置于蚀刻槽上方，其用于对待蚀刻产品进行传送。所述喷淋装置分别设置于传送装置的上下两侧，以对产品的上下表面进行喷淋蚀刻液，所述吸液装置设置于传送装置的外侧，以用于吸取产品上的余液。本实用新型通过设置喷淋装置、预喷淋区、喷淋区、虹吸吸液装置对产品进行表面喷淋及吸液回收，有效减少了水池效应的产生，提高了蚀刻的均匀度，且提高了蚀刻液回收利用率。本实用新型的实用性强，具有较强的推广意义。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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