[实用新型]一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置

摘要

本实用新型提供了一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置，包括炉体，炉体的一端呈敞开式，炉体上连通有出气管，所述炉体内固定有靠近炉体敞开处的固定壳，所述固定壳上开设有一组排气口；所述炉体远离固定壳的一端设有储气壳，所述储气壳上连通有贯穿炉体的排气管，所述排气管位于炉体内的一端连通有可拆卸连接的连接壳，所述连接壳靠近固定壳的一面设有承载条，所述承载条与连接壳相连通，所述承载条上开设有一组卡槽和一组出气孔，一组所述卡槽和一组出气孔呈交错分布。本实用新型可以有效的使惰性气体分散在炉体内，从而使粉末流均匀的分散在炉内，保证了每个圆片冷却后其表面都形成有充足的磷片。