[实用新型]一种光刻机掩膜版盒的储存柜有效
| 申请号： | 202123120949.X | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN216469320U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 牛立久;张雪奎;刘增增;周一雷;徐金鑫 | 申请（专利权）人： | 山东华楷微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/04;B65D6/06;B65D25/20;B65D81/18;B65D79/02;B65D85/86;G03F1/66 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 276800 山东省日照市日照高新区高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机掩膜版盒的储存柜，包括柜体柜体被分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，中间腔体被分隔为前腔体和后腔体，前腔体内抽拉安装有收纳盒，收纳盒的前板面上均设置有标签纸，后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器。该储存柜可以更好的储存掩膜版盒，方便掩膜版盒的寻找，避免空间中的灰尘污染掩膜版盒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机掩膜版盒 储存 | ||
【主权项】：
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