[实用新型]一种芯片测试探针装置有效
申请号: | 202123140167.2 | 申请日: | 2021-12-14 |
公开(公告)号: | CN216434188U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 曾丹萍;秦超强 | 申请(专利权)人: | 深圳市海芯微迅半导体有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 广东奥益专利代理事务所(普通合伙) 44842 | 代理人: | 田树杰 |
地址: | 518100 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片测试探针装置,包括底座、顶板、升降板,以及设于底座上的电机,电机上设有丝杆,底座上开设有导轨,导轨内滑动卡接有滑座,滑座上设有导滚珠、缓冲腔,缓冲腔内设有缓冲座、缓冲弹簧,缓冲座上设有IPT帽杆,IPT帽杆上设有芯片,升降板上设有安装块,安装块上设有锁止销、探针电路板,探针电路板上设有测试探针。提高了滑座以及具有芯片的IPT帽杆整体在导轨中的移动顺滑性和防脱性,可实现芯片对测试探针的下压顶力的有效缓冲卸力防护,避免测试探针硬性顶压芯片而造成芯片压伤的情况,实现探针电路板以及测试探针的整体方便拆卸并更换新的整体一套,进而提高了对芯片测试的精准质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 测试 探针 装置 | ||
【主权项】:
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