[实用新型]一种锗单晶炉用防泄漏引流装置

摘要

本实用新型公开了一种锗单晶炉用防泄漏引流装置，包括外置炉框、内炉体和引流气囊。本实用新型锗单晶炉用防泄漏引流装置，当外置炉框内部的气压过高时，气体通过进气口进入到外管框中并对密封垫进行挤压，密封垫在挤压的过程中，密封垫中心的通气孔扩张变大，气体通过通气孔后进入到气囊本体中，气体通过排气总管进入到排出管与回流管内，转动排出管上的梅花钮，安插柱从阀门框体内向外移出，气体通过透气孔后向外排出，同理转动回流管上的梅花钮，气体沿着回流管重新回到外置炉框内部，该装置能够在锗单晶炉内部气压过大时，主动对锗单晶炉内部进行气压的引流并收集，保持锗单晶炉内部气压的稳定性。