[实用新型]一种砷化镓晶片表面清洗工装有效
| 申请号： | 202123203335.8 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN216460459U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 袁宁;张双双;华平壤 | 申请（专利权）人： | 派尼尔科技（天津）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67;H01L21/02;B01D29/03;B01D29/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区经济技*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种砷化镓晶片表面清洗工装，属于砷化镓清洗技术领域。该砷化镓晶片表面清洗工装包括转动组件和清洗组件，所述转动组件包括清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板，所述清洗组件包括水管、喷头和排液管，所述水管设置于所述清洗池内，所述喷头连通设置于所述水管一侧，所述排液管连通设置于所述清洗池底部，通过设置清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板，能够对砷化镓晶片夹紧固定，同时带动其在清洗池内转动，能够调节对砷化镓晶片夹紧程度，提高实用性，通过设置括水管、喷头和排液管，能够对清洗池内转动的砷化镓晶片进行全方面的冲刷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 晶片 表面 清洗 工装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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