[实用新型]基于微影用途的光罩保持容器

摘要

一种基于微影用途的光罩保持容器，其供收纳限制一光罩，而该光罩保持容器包含有一第一视窗组及一第二视窗组，该第一、二视窗组分设于该光罩保持容器中相对光罩两个侧表面的侧面，且该第一、二视窗组分别具有一透明石英板，而该多个透明石英板的透光率大于或等于90％，又其中该第一、二视窗组的可视范围大于或等于该光罩的电路图案，以此，当该光罩收纳限制于该光罩保持容器后，能够于一微影设备内通过一微影光束由第一视窗组或二视窗组外部射入、且经该光罩后再由相对的第二视窗组或第一视窗组射出，使该微影光束投射通过光罩的电路图案转印至该工作载台的晶圆表面，且该光罩保持容器能够于一视觉检测设备内同步检知该光罩上、下表面的污染物。