[实用新型]具有防护结构的镀膜装置有效
| 申请号： | 202123214518.X | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN216514097U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 金珉九 | 申请（专利权）人： | 乐金显示光电科技（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨雪 |
| 地址： | 510530 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种具有防护结构的镀膜装置，包括镀膜腔、磁悬浮组件和防护组件，磁悬浮组件和防护组件均设置于镀膜腔内，镀膜腔可为基板提供镀膜所需的环境。磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，移动件设置于磁悬浮轨道的下方，与磁悬浮轨道相互作用实现磁悬浮，磁悬浮组件用于输送基板至镀膜位置。防护组件包括防护罩和防护板，防护罩夹设于磁悬浮轨道和移动件之间，且罩设于移动件的上端，以此保护固定于移动件上的靶材免受从镀膜腔内壁上脱落的薄膜碎片污染，而防护板设置于防护罩的内壁靠近基板处，则可避免靶材粒子飞溅沉积于移动件上。该具有防护结构的镀膜装置能够有效阻挡沉积的薄膜脱落对基板造成的污染，提高基板的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 防护 结构 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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