[实用新型]MEMS麦克风芯片有效
| 申请号： | 202123219722.0 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN216752082U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 石正雨;王琳琳;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/22 | 分类号： | H04R7/22;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型的MEMS麦克风芯片包括基底、通过第一固定部支撑于所述基底上方的振膜以及通过第二固定部支撑于所述基底上方的背板，所述振膜通过若干间隔设置的弹性臂固定于所述第一固定部，使得振膜可以通过形变释放应力，从而减小应力对振膜刚度的影响、提高了MEMS麦克风芯片的灵敏度；MEMS麦克风芯片还包括设于所述背板或所述振膜上且收容于所述内腔内的凸起部，该凸起部环绕振膜周界，增强了MEMS麦克风芯片的低频性能、提升了谐振频率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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