[实用新型]一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具有效
| 申请号： | 202123228556.0 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN216427400U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 崔娜;康明生 | 申请（专利权）人： | 河北东同光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 050000 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，包括铜板，铜板包括正面和背面；所述铜板的正面开设有嵌合槽，嵌合槽的内部嵌合有由若干块氧化铌拼接而成的靶材；所述靶材与嵌合槽槽底之间设置有一层金属铟，其中，所述铜板的背面开设有冷风通道，冷风通道的内部设置有温度传感器；所述温度传感器的输出端连接有PLC控制器。本实用新型结构简单、成本低且维护方便，可满足对靶材较大尺寸的绑定要求，通过设置在铜板上的冷风通道、冷风通道内的温度传感器以及冷风通道连接的冷风机和引风机，可提高靶材的散热效果，从而可防止溅射过程中靶材龟裂甚至断裂而影响溅射；通过设置的PLC控制器，可实现散热效果的自动控制，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 尺寸 氧化 铌靶材用 模具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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