[实用新型]一种用于半导体无尘室的除尘风机系统

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，包括若干风机、控制盒、监测装置、无线通信模块及移动终端，所述风机包括移动底座和风机本体，所述移动底座用于带动所述风机本体移动，所述移动底座上还设有定位模块用于定位所述风机的位置，所述监测装置包括若干尘埃监测器，所述控制盒通过所述无线通信模块与所述风机、监测装置及移动终端电连接。本实用新型的目的在于提供一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，通过在半导体无尘室内设置若干个尘埃监测器，每个尘埃监测器实时监测该区域的尘埃状态并发送至控制盒，控制盒控制若干个风机移动倒需要除尘的区域内进行除尘，智能进行除尘，提高除尘效果且降低成本。