[实用新型]一种碳化硅片生产用热处理设备有效
| 申请号： | 202123253664.3 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN216790823U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 贺贤汉;李有群;章磊;董志勇;孙大方 | 申请（专利权）人： | 上海申和投资有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/16 | 分类号： | F27B9/16;F27B9/06;F27B9/36;F27B9/30 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了热处理装置技术领域的一种碳化硅片生产用热处理设备，包括加热箱，所述加热箱包括有箱体；所述箱体内部设置有联动机构，所述联动机构由空心轴、固定轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮和转轴构成；所述空心轴的上端活动穿设于箱体上壁、且连接有驱动机构，同时下端延伸至箱体内部下方；所述固定轴固定安装于箱体内部底面上、且活动穿设于空心轴底端而延伸至空心轴内部；该装置在使用过程中可以通过联动机构带动转轴在水平方向上转动的同时产生自转，进而带动置放于网盒中的碳化硅片随之活动，使得碳化硅片不断进行翻转并不断转换在箱体中的位置，进而使得碳化硅片的受热更加均匀，所以加热板和加热棒对碳化硅片的加热效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化 硅片 生产 热处理 设备 | ||
【主权项】：
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